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Neutralisierung von Ionenstrahlen hoher Intensität mittels einer Mikrowellen-Plasmaquelle

Arnd Müller

ISBN 978-3-89722-784-2
157 Seiten, Erscheinungsjahr: 2001
Preis: 40.50 €

Keywords:
  • Implantation
  • Neutralisierung
  • Mikrowellen-Plasma
  • Direkteinkopplung
  • PFS

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