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Mikrosystemtechnische Sensoren in relativ bewegten Systemen für die industrielle Anwendung
Oliver Ahrens
ISBN 978-3-89722-701-9
180 pages, year of publication: 2001
price: 40.50 €
Keywords:
- Oberflächenmikromechanik
- Ultraschallwandler
- elektrostatische Anregung
- Herstellungsprozess
- Abstandsmessung
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