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Mikrosystemtechnische Sensoren in relativ bewegten Systemen für die industrielle Anwendung

Oliver Ahrens

ISBN 978-3-89722-701-9
180 pages, year of publication: 2001
price: 40.50 €

Keywords:
  • Oberflächenmikromechanik
  • Ultraschallwandler
  • elektrostatische Anregung
  • Herstellungsprozess
  • Abstandsmessung

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