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Experimentelle und numerische Untersuchung von Elektronendichte und -energieverteilung in einer ECR-Entladung
Dirk Hemmers
ISBN 978-3-89722-635-7
152 pages, year of publication: 2001
price: 40.50 €
Keywords:
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- ECR-Entladung
- Niedertemperaturplasma
- Thomsonstreuung
- Elektronenenergieverteilungsfunktion
- Plasmamodellierung
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