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Design, Simulation und Entwicklung von resonanten Mikrosturkturen für Sensoranwendungen

Olaf Renken

ISBN 978-3-89722-408-7
160 Seiten, Erscheinungsjahr: 2000
Preis: 40.50 €

Keywords:
  • Mikrosystemtechnik
  • Additive Mikrogalvanik
  • MEMS /Mikroelektromechanisches System)
  • Resonator
  • Drehratensensor

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