Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem
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Jörg Stürmann
ISBN 978-3-8325-1611-6
Keywords:
- Mikrosystemtechnik
- Siliziumtechnologie
- Gasanalyse
- Chromatographie
- Mikroreaktor
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