Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung
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Michael Brauer
ISBN 978-3-8325-1484-6
Keywords:
- Silizium-Mikrofon
- Mechanisch-akustisches Netzwerk
- Mikromechanik
- Kapazitiver Schallwandler
- Signal-Rausch-Abstand
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