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Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme

Andreas Buhrdorf

ISBN 978-3-8325-1025-1
178 pages, year of publication: 2005
price: 40.50 €

Keywords:
  • Mikrosystemtechnik
  • Ultraschallwandler
  • elektrostatische Anregung
  • Oberflächenmikromechanik
  • Herstellungsprozess

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