Experimentelle und numerische Untersuchung von Elektronendichte und -energieverteilung in einer ECR-Entladung

Dirk Hemmers
ISBN 978-3-89722-635-7
152 Seiten, Erscheinungsjahr: 2001
Preis: 40.50 EUR

Stichworte/keywords: ECR-Entladung , Niedertemperaturplasma , Thomsonstreuung , Elektronenenergieverteilungsfunktion , Plasmamodellierung

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