cover

Modellierung und Simulation nichtlinearer Effekte in kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen

Dennis Ziegler
ISBN 978-3-8325-2620-7
138 Seiten, Erscheinungsjahr: 2010
Preis: 35.50 EUR

Stichworte/keywords: Plasmatechnik, Modellierung, Simulation, Hochfrequenzplasma, Nichtlineare Dynamik

Die Plasmatechnik nimmt als Querschnittstechnologie eine wichtige Stellung in vielen Branchen der High-Tech-Industrie ein. Neben der klassischen Anwendung bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen ergeben sich zunehmend neue Einsatzgebiete in der Oberflächentechnik, der Automobil- und Textilindustrie soa wie in der Biomedizintechnik. Insbesondere Hochfrequenzplasmen sind für die geu nannten Bereiche von zentraler technologischer Bedeutung. In dieser Arbeit wird das nichtlineare Verhalten von kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen untersucht. Ausgehend von allgemeinen Konzepten zur Modellierung von Niedertemperaturplasmen werden spezialisierte Modelle zur Analyse der Hochfrequenzdynamik entwickelt. An Hand von Vergleichen mit Experimenten und einer Vielzahl von Simulationen wird der Einfluss von nichtlinearen Effekten auf die Dynamik der Entladung untersucht und auf diese Weise ein Beitrag zum vertieften Verständnis a der Energieeinkopplung in Hochfrequenzplasmen geleistet.

Kaufoptionen
print:35.50 EUR 
Exemplar(e)

eBook*:34.50 EUR
eBundle*45.50 EUR
(innerhalb Deutschlands)
49.50 EUR
(außerhalb Deutschlands)

Bei Interesse an Multiuser- oder Campus-Lizenzen (MyLibrary) füllen Sie bitte das Formular aus oder schreiben Sie eine email an order@logos-verlag.de

*Sie können das eBook (PDF) entweder einzeln herunterladen oder in Kombination mit dem gedruckten Buch (eBundle) erwerben. Der Erwerb beider Optionen wird über PayPal abgerechnet - zur Nutzung muss aber kein PayPal-Account angelegt werden. Mit dem Erwerb des eBooks bzw. eBundles akzeptieren Sie unsere Lizenzbedingungen für eBooks.


Wollen auch Sie Ihre Dissertation veröffentlichen?