Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme

Andreas Buhrdorf
ISBN 978-3-8325-1025-1
178 pages, year of publication: 2005
price: 40.50 EUR

Stichworte/keywords: Mikrosystemtechnik , Ultraschallwandler , elektrostatische Anregung , Oberflächenmikromechanik , Herstellungsprozess

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